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真空泵|真空机组

2019-12-19

真空泵及真空机组的真空系统是主要工作部件,避免真空系统不受污染,是很有必要。对真空泵及罗茨旋片真空机组来说,水蒸气是首要解决问题。水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴,并与泵混合构成悬浮液,不只会使真空度降落,也能使泵腔与转子生锈,破坏密封面,使泵的 极限真空度降落。为此,防止水蒸气对机械泵的污染很重要。防止的措施有:

1:选用带有气镇装置的油封机械泵;

2:装油分别器、离心式分别器或油水分别器,将混有水的机械泵油中止处置,处置过的油再流入泵中运用;

3:运用液氮冷阱,不只能有效地吸附水蒸气,同时还可以阻挠机械泵油向高真空室返流:

4:运用吸水性强的单调剂;油扩散泵真空系统污染与防治油扩散泵真空系统是运用更普遍的真空系统,其获得真空度范围为1.3×10-3 ~1.3×10-5 Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空装置,长期运用后,常见的缺点是真空度抽不上去,或真空度抽不到原来的极限真空水平。与真空室内壁的油蒸气污染、真空工艺过程各种污染物的污染有关,防止的办法只有定期清洗真空室,以及对油封机械真空泵和油金属扩散泵中止清洗。

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11-28

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